做是能做，通过加工工艺的调整可以做，但是精度达不到容易照偏了，对不齐，偏一点就废很多个芯片，容错率极低，良品率很难从加工技术上保证。
我的理解是100瓦的机器，工作时调成10瓦的输出，爆光时间增加10倍，效率只有满功率运行时的百分之一
国产90nm光刻机能生产14nm的芯片吗？
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做是能做，通过加工工艺的调整可以做，但是精度达不到容易照偏了，对不齐，偏一点就废很多个芯片，容错率极低，良品率很难从加工技术上保证。
我的理解是100瓦的机器，工作时调成10瓦的输出，爆光时间增加10倍，效率只有满功率运行时的百分之一
